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工業(yè)凈化車間的發(fā)展
工業(yè)凈化車間(ICR，ndustrial Clean Room) 以空氣中的懸浮顆粒物為主要控制對象，主要為精密機械和電子產(chǎn)品等行業(yè)提供符合要求的生產(chǎn)環(huán)境。
與其他高科技-樣，凈化車間潔凈技術的誕生及最初應用是服務于軍事目的的。第二次世界大戰(zhàn)中一些槍炮、戰(zhàn)車、飛機等使用的儀器合格率低或經(jīng)常發(fā)生故障。研制者認識到，儀器生產(chǎn)與裝配環(huán)境空氣中的懸浮顆粒物是罪魁禍首，于是工業(yè)凈化車間誕生了。最初的工業(yè)凈化車間是比較簡陋的，隨著原子武器研究和生化武器研究的發(fā)展，在20 世紀40 年代初高效空氣過濾器研制成功并得到應用，20世紀60年代初又出現(xiàn)了“單向流”凈化車間，這些設備與技術的誕生成為清凈技術發(fā)展的里程碑，奠定了現(xiàn)代潔凈技術的基礎。
微電子行業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)凈化車間應用的代表。主要產(chǎn)品是大規(guī)模集成電路和平板顯示器。半個多世紀以來，集成電路得到迅猛發(fā)展，表1-1是對其集成度發(fā)展趨勢的預測。
集成電路集成度發(fā)展趨勢預測：
| 年份 | 2003 | 2004 | 2005 | 2006 | 2007 | 2008 | 2009 | 2012 | 2015 | 2018 |
| 線寬/nm | 100 | 90 | 80 | 70 | 65 | 57 | 50 | 35 | 25 | 18 |
| 控制粒徑/nm | 50 | 45 | 40 | 35 | 33 | 29 | 25 | 18 | 13 | 9 |
從表1-1中可以看到，隨著集成度的增加，元件中的線寬不斷縮小，因此對空氣中縣浮顆料物的控制粒徑也越來越小，一般認為控制粒徑應當是線寬的1/10~1/3，但從表1-1看，由于線寬越來越小，這一要求也難以達到了。微電子產(chǎn)品的迅速發(fā)展對傳統(tǒng)的潔凈技術提出了極大的挑戰(zhàn)，同時也促進了現(xiàn)代潔凈技術的發(fā)展。
現(xiàn)代工業(yè)凈化車間雖然仍以懸浮顆粒物為主要控制對象，但在某些T藝過程對空氣中分子態(tài)污染物( AMC,Airbome Molecular Contaninants) 也提出了控制要求。因此，空氣凈化技術的關鍵設備也從單一的粒子過濾器發(fā)展到可以吸附有害氣態(tài)物質(zhì)的化學過濾器。
生物潔凈室的發(fā)展
生物潔凈室( BCR,Biological Clean Room) 以空氣中的微生物為主要控制對象，但同時也對懸浮顆粒物提出控制指標。
生物潔凈室與工業(yè)潔凈室在基本技術上是一致的，它實際是先期發(fā)展起來的工業(yè)潔凈室技術在生物凈化領域的具休應用。19 世紀中期，英法科學家和醫(yī)學家針對手術過程中的細菌感染采取了對創(chuàng)部、處置室、手術室、室內(nèi)人員、著裝、器械等進行消毒的措施，并將經(jīng)過消毒的室內(nèi)空間稱為潔凈室(CR，Clean Room)，該名詞沿用至今，當然其內(nèi)涵已經(jīng)有了很大發(fā)展。20世紀60 年代初，美國工業(yè)潔凈室的發(fā)展進入全盛時期，人們通過測試發(fā)現(xiàn)在T 業(yè)潔凈室的空氣中微生物含量同樣遠低于外界，于是開始嘗試利用工業(yè)潔凈室進行一些要求無菌環(huán)境的試驗，最早的例子是在一間工業(yè)潔凈室中對進人太空的狗進行的解剖實驗。細菌、病毒是依附于空氣中的液滴或灰塵并以此作為生存和傳播媒介的，控制了空氣中的顆粒物也就控制了空氣中的微生物。1966 年在美國新墨西哥州建成世界上第一個“層流式”潔凈手術室，這是BCR 技術用于醫(yī)療事業(yè)的最早實例。歐洲大陸最早的“層流式”潔凈手術室于1969 年建在奧地利的急救醫(yī)院。日本在1970 年建立了第一個高級別的“層流式”潔凈手術室。
從20 世紀70 年代開始，以美國為首的技術先進國家大規(guī)模地將工業(yè)潔凈室技術引入防止以空氣作為傳播媒介的微生物污染控制領域，誕生了現(xiàn)代意義上的生物潔凈室。
